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万象城app(中国)科技有限公司官网工程要控制温湿度具体措施有哪些?

发布时间: 2022-4-21 13:54:16

万象城app(中国)科技有限公司官网工程要控制温湿度具体措施有哪些?


       洁净室的温湿度主要是根据加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,首选应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提,工艺对温湿度的要求也越来越高,达到定的温湿度等。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以有±0.1度的恒温,同时要求湿度值般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。万象城app(中国)科技有限公司官网工程

 


湿度过高会产生很多问题,相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。那么万象城app(中国)科技有限公司官网工程要控制温湿度具体有什么措施?下面由万象城app(中国)科技有限公司官网万象城app(中国)科技有限公司官网科技有限公司列举的几个控制湿度的方法。万象城app(中国)科技有限公司官网工程

 


对于大部分洁净空间,为了防止外界污染 侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。压力差的维持般应符合以下原则:


1. 洁净度别高的空间的压力要高于相邻的洁净度别低的空间的压力。


2. 相通洁净室工程之间的门要4开向洁净度别高的房间。


3. 洁净空间的上海风淋室压力要高于非洁净空间的压力。


 

       压力差的维持依靠新风量,这个新风量要能补偿在这压力差下从缝隙漏泄掉的风量。所以压力差的物理意义就是漏泄(或渗透)风量 通过洁净室的各种缝隙时的阻力。万象城app(中国)科技有限公司官网工层


对于乱流洁净室由于主要靠空气的稀释作用来减轻室内污染的程度,所以主要用换气次数这概念,而不直接用速度的概念,不过对室内气流速度也有如下要求:

 

    1.送风口出口气流速度不宜太大,和单纯空调房间相比,要求速度衰减更快,扩散角度更大。

    2.吹过水平面的气流速度(例如侧送时回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返气流,而造成再污染,这速度般不宜大干0.2m/s。





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